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2006 年 11 月 10 日:苏瑞高纯双氧水提纯装置 SAT 系统第一次试车成功完成

 

  经过半个月的精心准备工作,苏瑞电子材料正式开始超纯双氧水提纯装置 SAT 系统的第一次试车工作,在 Bosse Juergen 博士的亲自指导下超纯双氧水的提纯装置 SAT 系统经过一周的稳定运行后顺利实现设定目标,工厂各项运行指标均已达到目标状态,技术级双氧水经过 SAT 系统提纯后能够完全满足目前8寸和 12寸芯片厂要求,另外,由于工厂刚建成不久,SAT 系统需要更多的时间来冲洗管路内的污染物,在这种情况下 SAT 系统仍然能够将污染物控制远在规格下从而体现出 SAT 系统的技术先进性和设备的稳定性 (SAT 系统在运抵苏州之前已经在德国工厂运行达半年之久 ) 。

Bosse Juergen 博士是 Solvay Interox 超纯双氧水技术专家,有着二十多年的超纯双氧水提纯技术的研究和操作经验,是 Solvay Interox 超纯双氧水提纯技术研发团队的核心专家。作为采用全球顶尖技术的 SAT 系统的主要参与者, Bosse Juergen 博士仍在继续为超纯双氧水提纯技术能够达到更高的水平而努力。


 
 
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